1968年臺(tái)階儀Dektak Ⅰ面世以來(lái)，迄今已有50多年的發(fā)展歷程。通過(guò)整合技術(shù)，突破創(chuàng)新，Dektak系列臺(tái)階儀已經(jīng)來(lái)到了第十代，目前我們主要有兩種型號(hào):桌面式DektakXT（圖1），樣品兼容可到8寸；另外一款是集成了防震臺(tái)一體化的落地式DektakXTL，它的兼容樣品可以達(dá)到12寸（圖2）。布魯克第十代Dektak 產(chǎn)品在過(guò)去五十年不斷的技術(shù)創(chuàng)新，得到眾多使用客戶的認(rèn)可。
圖1 圖2
臺(tái)階高度重現(xiàn)性低于 4 Å
Dektak XT 是使用single-arch 設(shè)計(jì)的探針輪廓儀， single-arch 設(shè)計(jì)及智能電子器件，大大改善了設(shè)備穩(wěn)定性，進(jìn)一步提高防震性能。Dektak XT在測(cè)量臺(tái)階高度重復(fù)性方面具有優(yōu)異的表現(xiàn)，臺(tái)階高度重復(fù)性可低于4Å。使用 single-arch 結(jié)構(gòu)比原先的懸臂梁設(shè)計(jì)更加穩(wěn)固，降低了對(duì)不利環(huán)境條件的敏感性，如聲音和震動(dòng)噪音。
方便的更換探針技術(shù)讓一切變得輕松
對(duì)多用戶儀器而言，能快速輕松更換探針以適應(yīng)不同應(yīng)用是必要的。Dektak臺(tái)階儀的轉(zhuǎn)接頭和探針通過(guò)強(qiáng)磁吸附進(jìn)行連接，在探針更換工具的配合下，更換探針簡(jiǎn)單、方便、易操作（圖3）。DektakXT 新的針尖自動(dòng)校準(zhǔn)，消除任何潛藏的針尖更換/校準(zhǔn)隱患。這一技術(shù)讓其他困難并耗時(shí)的任務(wù)變得輕松且快速。為盡量滿足使用的要求，Bruker 提供了范圍廣泛的標(biāo)準(zhǔn)和客戶定制探針規(guī)格，包括用于深溝渠測(cè)量的高徑比針尖。
圖3
LVDT:主流的微位移傳感技術(shù)廣泛應(yīng)用于航空航天等領(lǐng)域
作為探針式表面輪廓儀核心的部件—傳感器，Dektak XT采用LVDT傳感器原理，即Linear Variable Differential Transformer線性可變差動(dòng)變壓器（圖4），其優(yōu)勢(shì)包括：無(wú)摩擦測(cè)量、延長(zhǎng)機(jī)械壽命、提高分辨率、零位可重復(fù)性、軸向、堅(jiān)固耐用、環(huán)境適應(yīng)性、輸入/輸出隔離。
圖4
帶機(jī)械臂的全自動(dòng)傳片臺(tái)階儀
全自動(dòng)型臺(tái)階儀（cassette-to-cassette臺(tái)階儀），將Bruker DektakXTL臺(tái)階儀系統(tǒng)和機(jī)械傳送臂相結(jié)合（圖5），實(shí)現(xiàn)了全自動(dòng)上下片，通過(guò)圖形識(shí)別等功能實(shí)現(xiàn)自動(dòng)準(zhǔn)確定位（樣品定位精度在±5微米），自動(dòng)檢測(cè)，數(shù)據(jù)自動(dòng)輸出和上傳，減少人工成本和人員誤差，可以實(shí)現(xiàn)75mm到300mm晶圓檢測(cè)全自動(dòng)化。為半導(dǎo)體行業(yè)在工藝開發(fā)，質(zhì)量保證與質(zhì)量控制應(yīng)用方面進(jìn)行了優(yōu)化。
圖5
臺(tái)階儀主要用于材料表面的2D，3D測(cè)量，可以測(cè)試臺(tái)階高度，表面粗糙度；同時(shí)也適合材料表面溝槽深度的測(cè)試；能夠在微電子，半導(dǎo)體及化合物半導(dǎo)體，太陽(yáng)能、超高亮度發(fā)光二管（LED）、OLED、ITO、微流控、醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)等行業(yè)實(shí)現(xiàn)納米級(jí)表面形貌測(cè)量。Dektak臺(tái)階儀測(cè)量薄膜材料可以達(dá)到埃級(jí)重現(xiàn)性和1nm-1mm的測(cè)量范圍。
圖6
圖7
