薄膜應(yīng)力及基底翹曲測試設(shè)備
FSM128系列設(shè)備，裝備有光學(xué)掃描系統(tǒng)。
薄膜應(yīng)力及基底翹曲測試設(shè)備
FSM 500TC 200mm 高溫應(yīng)力測試系統(tǒng)可以幫助研發(fā)和工藝工程師評估薄膜的熱力學(xué)性.....
晶圓厚度測量系統(tǒng)
FSM413回波探頭傳感器使用具有紅外（IR）干涉測量技術(shù)
品/FilmStress128系列/linecard/linecard滾動-14055370109-wm.jpg)
Line Card
品/硅片表面形貌測量/全自動紫外線芯片應(yīng)力測量儀/滾動1901802-16062930718-wm.jpg)
全自動紫外線芯片應(yīng)力測量儀
全自動紫外線芯片應(yīng)力測量儀一臺全自動紫外線——可見光RAMan儀器，主要用與測量芯片應(yīng)力。
品/硅片表面形貌測量/紅外干涉測量設(shè)備/滾動1901801-15593495217-wm.jpg)
紅外干涉測量設(shè)備
紅外干涉測量技術(shù), 非接觸式測量
